工具显微镜

新MX63/MX63L工具显微镜是该系列个支持奥林巴斯MIX照明功能的产品，由此进一步提升了该显微镜的观察能力。MIX可将暗场与明场、荧光或偏振等其他观察方法结合使用。在很多应用中，MIX能够帮助用户观察到使用传统显微镜难以看到的缺陷。

长寿命高强度白色LED照明：始终一致的色温

新MX63/MX63L配备了高强度白光LED光源，兼顾低功耗和长寿命的优点，而且其稳定的色温为可靠的图像质量和精确的色彩复现提供了保障。

功能性：适合所有晶园尺寸

新MX63/MX63L特别适用于半导体、平板显示、印制电路板等行业的大尺寸样品检测。MX63可用于大晶圆直径200mm，MX63L可用于大晶圆直径300mm。此外，新显微镜还可以选配晶园搬送机，实现可靠、安全、高效的对晶圆正面和背面进行检测。

模块化：全面可定制

新MX63/MX63L的模块化设计让检测者能够根据应用需要选择组件。两款显微镜均按洁净室应用而设计，并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有电动组件均安装在屏蔽结构内，镜架、镜筒以及其他部件均经过防静电处理。

人性化：满足人体工学的设计

新MX63/MX63L采用人体工学设计，可以快速设置调整和简易控制。更换物镜以及调整孔径光阑的控制位于显微镜前面较低的位置，因此用户在使用过程中可始终保持透过目镜观察而无须松开对焦旋钮。电动物镜转盘旋转迅速，在缩短检测间隔时间的同时还可让操作者的手始终在晶圆下方，降低可能存在的污染风险。

凭借这些强大的观察功能和简单的操作特性，MX63/MX63L工具显微镜能够实现快速高效的实现大尺寸样品检测。