奥林巴斯半导体/FPD检测显微镜MX63/MX63L

奥林巴斯半导体/FPD检测显微镜MX63/MX63L具有多种功能，采用符合人体工学的易用设计，能够提供zui大 300mm 晶圆、平板显示器、印刷电路板、以及其他大型样本的高品质观察。该产品采用灵活的模块设计，能够提供适用于多种检查用途的*观察系统。通过与奥林巴斯 Stream 图像分析软件结合，从观察到报告生成在内的整体检查过程都变得简单而流畅。

奥林巴斯半导体/FPD检测显微镜MX63/MX63L是该系列支持奥林巴斯MIX照明功能的产品，由此进一步提升了该显微镜的观察能力。MIX可将暗场与明场、荧光或偏振等其他观察方法结合使用。在很多应用中，MIX能够帮助用户观察到使用传统显微镜难以看到的缺陷。

新MX63/MX63L显微镜特别适用于半导体、平板显示、印制电路板等行业的大尺寸样品检测。MX63可用于zui大晶圆直径200mm，MX63L可用于zui大晶圆直径300mm。此外，新显微镜还可以选配晶园搬送机，实现可靠、安全、高效的对晶圆正面和背面进行检测。

新MX63/MX63L显微镜的模块化设计让检测者能够根据应用需要选择组件。两款显微镜均按洁净室应用而设计，并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有电动组件均安装在屏蔽结构内，镜架、镜筒以及其他部件均经过防静电处理。