(1) 为防止刮伤玻璃基板,ISB采用Dupont的Vespel及PBI、PEEK等具有代表性的工程树脂材料。
(2) 能够抑制微粒粉尘产生,体现ISB*的洁净技术。
(3) 根据使用环境要求,可提供多样化的脱脂洗净方法。洗净方法1:个别部件用有机溶剂洗净。
洗净方法2:所有部件用*超声波洗净。
(4) 玻璃基板定位时的摩擦系数仅为Pin支撑方式的1/10。
(5) 与滑动摩擦的Pin支撑相比,滚动摩擦的万向球寿命更长。
无尘室万向球的载重能力是因不同的使用工况而有所不同。因此,以面板制造厂家为基准,参照ISB的过往实绩给予建议,初次使用无尘室万向球时,请以0~1Kg荷载进行设计。
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