高度/变形 在线高度/变形 检测系统
精密在线轮廓检测系统,轮廓检测系统,在线检测系统
高度/变形
在特定的范围内多点测量高度
可测量平均高度、zui大高度及zui小高度。透过计算特定点的高度可测出变形或膨胀度。
激光位移传感器 (2D)
轮廓/截面
瞬间测量/判定截面
可在特定的范围内实时测量截面面积。这样便可以对轮廓和截面进行质量控制。
角度/交点/位置
自动计算角度/交点
可根据表面轮廓实时测量/判定角度、交点及边缘位置。
宽度/间隙
透过特定测量模式测量宽度/间隙
根据表面轮廓测量宽度及间隙。在进行高精度测量的同时不受目标物颜色的影响。
高度/变形
在特定的范围内多点测量高度
可测量平均高度、zui大高度及zui小高度。透过计算特定点的高度可测出变形或膨胀度。
可应对任何情况的功能,源自高性能的可靠性
超高的再现性0.005um
超高的精度0.02%
超快的速度392 kHz