azbil山武 PBZ-CL007V 边缘检测传感器

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概要PBZ激光传感器采用平行激光束和一个CMOS线性图像传感器专长检测薄膜、晶圆或玻璃基板的边缘位置。

azbil山武 PBZ-CL007V 边缘检测传感器产品信息

星级：无 点评：0 人气：195 发布时间：2011-07-12
产品分类：离散传感器,激光检测 品牌：
关键词：azbil山武,PBZ-CL007V,边缘检测传感器
产品介绍：azbil PBZ-CL007V边缘检测传感器,azbil PBZ-CL007V边缘检测传感器,azbil PBZ-CL007V边缘检测传感器概要PBZ激光传感器采用平行激光束和一个CMOS线性图像传感器专长检测薄膜、晶圆或玻璃基板的边缘位置。

*1. 重复精度：PBZ-CL007V：±1 μmax.，PBZ-CL030H/V：±5 μmax.
*2. *于 PBC-201VN0/2
*3. *于 PBC-203VN2

测定内容

重复精度 ±1 μm* — 准确检测出真实的边缘位置

FDN算法是一种对于任意的工作距离（WD）都能准确地计算出真实的边缘位置的算法。

*PBZ-CL007V的重复精度为±1 μm，PBZ-CL030H/V的重复精度为±5 μ。检测条件请参照规格。

不受检测面污垢引起的受光光量衰减的影响

受光单元采用线性图像传感方式，不受检测面污垢的影响，实现高精度的检测。并且，
配置了“光强度衰减报警功能”，到了维修时期便会发出警报。

传统方式（PD）
因遮光引起受光量的减少，使PD的线性输出发生变化。这种传统的PD方式，由于受光面污垢（或检测物透明度）造成受光光量衰减，使输出值发生变化。所以，为了防止污垢，需要进行空气吹扫。
本公司的线性图像传感方式
根据各像素的亮度信息，测出遮光宽度。即使受光光量衰减，只要线性图像传感器的入光量不变，边缘位置的输出值就不会变化。