产品详情
我们在玻璃基板上涂上抗蚀剂,对曝光的材料进行显影,用水清洗,然后沥干。它是一种可以改变显影喷头的形状和数量的结构。
“传送显影器”通过喷涂法将抗蚀剂涂敷到玻璃基板上,对曝光的材料进行显影、冲洗和排水。
处理面为单面(上表面)专用,水洗排水为双面(上、下)处理。
装载和卸载是手动的。
【主要规格】
○处理能力:100平方×0.7(1.1)t 3玻璃基板
○工艺:桨式显影-N-水洗-2液-直接水洗-排水
○使用化学品:碱性显影剂
产品规格
[规格]
○ 处理能力:100 平方 x 0.7 (1.1) t 3 玻璃基板
○ 工艺:桨式-显影-N-水洗-2 流体-直接水洗-排水
○ 使用化学品:碱性显影剂
○ 显影剂温度:20- 30度±3℃
○设备尺寸:L2880×W1550×H1784mm 包括突起物
○附属设备:冷水机组、BJ罐、废液回收罐
○公用事业:AC200V/50Hz/约5kw/3相
→空气:0.5Mpa/cm²以上工厂配管(管径另行约定)
→排气:2m²/min以上工厂排气连接
→显影废液:Poly tank收集/工厂废液手动切换类型
→一般废水/工厂废液手动阀门切换
* 以上项目为必填项 可根据规格更改