该设备是一种使用飞秒激光的多光子激发立体光刻设备。通过使用750至900nm的超短脉冲激光束作为激发光源,可以激发在紫外至可见区域具有吸收的物质的两个光子。与使用高功率激光的传统立体光刻相比,纳米级立体光刻具有更高的空间分辨率。
使用传统的高功率二氧化碳激光或 YAG 激光进行加工是一种将光能转换为热能并对照射区域进行热破坏的方法,例如熔化和分解,但使用飞秒激光进行加工是轻的。由于使用能量本身,材料不会受到热损坏。
此外,由于采用多光子激发加工,只对内部进行三维加工,不会损坏材料表面。
此外,由于多光子激发过程是非线性光学现象,因此可以获得超过衍射极限的处理分辨率。