国产便携式激光干涉仪

SJ6000系列国产便携式激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，结合激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出。除了环境适应能力好，还可以进行动态高速测量，选配相应的功能模块元件后还可以测量振动幅度、平面度、线速度、角速度等。

功能

1.结合不同光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量；

2.在动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

中图仪器研发生产的SJ6000系列国产便携式激光干涉仪测量分辨率可达0.01″，系统测量精度为±1″，基准WR50自动精密转台重复精度为0.2″，采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿，具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点。

特点

1.精度高

SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。

2.功能广

可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

可实现龙门机床双轴同步测量；

可实现对机床回转轴的测量与校准；

可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

支持手动或自动进行环境补偿。

3.软件强

友好的人机界面；

丰富的应用功能模块；

向导式的操作流程；

简洁化的记录管理；

支持中文、英文和俄文界面；

支持企业专属模板定制。

SJ6000激光干涉仪的测量系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。