捷欧路JEOL JXA-8230 电子探针显微分析仪可以安装通用性强、使用方便的能谱仪X射线探测器,组合使用WDS和EDS,能提供无缝、舒适的分析环境。
日本电子新开发出的EPMA (电子探针)秉承近半个世纪的EPMA的发展历史,JXA-8230具备用户友好的操作、通过新式简单易用的PC 用户界面提供完整范围的高精度、快速分析,这是JEOL长年来对高可靠性硬件不断改良的结果。JXA-8230电子探针是下一代能多种需求的强力分析工具之一。
捷欧路JEOL JXA-8230 电子探针显微分析仪的EPMA快速启动点击任何一点,就能开始预设的EDS定性、定量分析或WDS分析。
检测元素范围 | WDS:(Be) /B~U, EDS:B~U |
X射线检测范围 | WDS检测的波长范围: 0.087~9.3nm, EDS EDS检测的能量范围: 20keV |
分光谱仪数量 | WDS: 1~5道可选、EDS: 1台 |
样品尺寸 | 100mm × 100mm × 50mm(H) |
加速电压 | 0~30kV(以0.1 kV为步长) |
束流电流范围 | 10-12 ~ 10-5 A |
束流电流稳定度 | 5%/h, ±0.3%/12h(W) |
二次电子分辨率 | 6nm(W), 5nm(LaB6) (W.D. 11mm, 30kV) |
扫描倍率 | ×40 ~ ×300,000(W. D. 11mm) |
扫描图像分辨率 | 5,120× 3,840 |
彩色显示器 | EPMA分析用: LCD 1,280 × 1,024 SEM操作、 EDS分析用: LCD 1,280 × 1,024 |
光学显微镜 | |
分辨率 | ~1um |
焦深 | 1um |
真空系统 | 机械泵、分子泵、离子泵 |
真空度 | 样品室: 优于8.0 x 10-4Pa, 电子枪: 优于9.0 x 10-5Pa |
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