3D表面轮廓仪7100

　　NewView 7100白光干涉仪是高性价比非触摸式外表轮廓仪。NewView 7100外表轮廓仪以其的精细度和准确度定性和定量地反映出样品的外表粗糙度、台阶高度、关键部位的尺度以及样品的描摹。测量过程精细，高速，非触摸，且样品无需特别处理。在高速扫描状态下纵向测量规模能够从小于1nm至20000μm，基于ZYGO的扫描技能。无论怎样的外表描摹，扩大倍数以及台阶特性，NewView 7100系列只需一次扫描即可到达0.1nm的纵向分辨率，并获得一切的被测参数。

　　体系参数:

　　◆原理:非触摸、三维白光扫描干涉仪

　　◆扫描装置:闭环反馈压电陶瓷，高线性电容传感器,

　　◆视场扩大倍率：高质量分立扩大倍率镜头：0.5×,0.75倍率:×,1.0×,1.5×,2.0×

　　◆成像扩大:电动3位体系成像扩大

　　◆视场:0.03-14mm，跟物镜和扩大倍率有关,运用图像拼接技能能够得到更大规模

　　◆光源:均匀成像，高效率，特别设计长寿命白光LED物镜座标配:可快速装卸单物镜夹具

　　◆操控:滤光板托架，视场光阑（辅佐聚集）

　　◆测量阵列:标配640×480像素；可选更高分辨率992×992

　　◆样件调查:专用液晶显示屏实时调查

　　◆精细聚集:电控手动和自动聚集

　　◆Z轴驱动:直流无刷微步进电机驱动，200mm行程,0.1μm精度

　　◆尺度:157×132×89cm，NewView：81×58×41cm，

　　◆分量:体系分量：约430Kg

　　◆输入电压:100-240VAC,50/60 Hz

　　◆计算机:带液晶显示器的高性能DELL计算机

　　◆软件:ZYGO MetroPro软件

　　◆物镜座:可快速装卸单物镜夹具,选件:手动6位塔台；电控6位塔台；

　　◆物镜：1X,2X,2.5X,5X,10X,20X,50X,100X

　　◆样品台:手动,俯仰.倾斜(±6°)和XY平移(±100mm),电动,俯仰(±4°)和XY平移(152mm)电动,俯仰(±4°)X-Theta(orY-Theta）和XY平移(152mm)三种可选.

　　◆纵向扫描:150μm，拓展扫描形式可到20mm,

　　◆纵向分辨率＜0.1nm,横向分辨率0.36～9.5μm，与所选物镜有关,

　　◆扫描速度≤26μm/sec,与所选的CCD和扫描形式有关

　　◆zui大数据点:标准307200；可选984064；

　　◆RMS重复性＜0.01 nm，RMSσ

　　◆台阶测量:准确度≤0.75%;重复性≤0.1% 1σ

　　◆测样品特性:各种材料的外表：通明，不通明，镀膜,非镀膜，反射，弱反射

　　◆zui大尺寸:89×203×203mm(高×宽×长);反射率:1-99.99%