DVIA-MO主动隔振光学平台

DVIA-MO主动隔振光学平台

光学面包板和DVIA-M有源隔振器的结合创造出了的混合有源光学平台，为高分辨率光谱学，显微镜和精密纳米结构研究和制造等挑战性的应用提供了优异的振动隔离，使建筑振动降至10Hz以下。

的主动隔振器

DVIA-MO由四个主动隔振器组成。 无源和有源系统的元件被纳入有源隔离器; 传感器和执行器安装在隔离器中，减少1-10 Hz的振动，同时无源隔离系统支持大量有效负载，并在高频范围内提供隔振。

主动隔离系统的谐振频率比无源隔离系统低得多。 如上图所示，主动系统在1-10Hz范围内的振动控制非常出色，被动系统放大低频振动而不是过滤振动。 DVIA-MB在精密仪器趋于不稳定和破坏性的低频振动中隔离超精密仪器非常有效。 主动隔振开始于0.5Hz，DVIA-MB在5Hz时达到95％，在10Hz时达到99％。

反馈和前馈算法

DVIA系列使用反馈控制系统连续检测干扰隔离有效负载基座的振动，并即时作出反应，限度地减少实时振动。 DVIA系列采用前馈系统，以预定义的方式过滤地板振动。

控制所有六个自由度的振动

安装在主动隔振系统中的惯性传感器和VCM执行器通过三个平移运动（X，Y和Z）以及三个旋转运动（俯仰，滚转和偏航）来检测和控制振动。

每个安装地点都有不同的振动级别，表明每个安装地点都需要调整。 因此，我们提供现场调试，以有效地利用反馈和前馈控制系统，这是控制1-10 Hz范围振动的关键因素。 没有调整，主动隔离系统不能提供的主动隔离性能。

0.25毫米厚的蜂窝钢层波纹，以增加其核心密度和最小化其单元尺寸; 这些波纹蜂窝钢层垂直环氧树脂结合不锈钢顶部表皮，碳钢底部皮肤和侧壁，以提供静态和动态刚性，以的性能水平。

我们的蜂窝芯产生的芯密度和最小的蜂窝孔尺寸3.2㎠，提供了光学平台的显着的刚性。 作为有助于增加弹性选择模量的最小的蜂窝单元，光学顶端的固有频率增加。 由于我们的光学陀螺具有较高的固有频率，减少了环境振动，阻碍了外力的产生，因此隔振系统是有效的。 此外，较高的固有频率使负载下的振动强度和偏转最小化，这对于进行光学实验是关键的。

单独的尼龙杯在每个安装孔下面都是环氧树脂结合的，以防止发生化学或外来物质溢出到蜂窝芯中。

我们精心地研磨光学顶面，以提供干净，无眩光的工作表面。M6安装孔位于25毫米的中心，用户可将其应用安装在光学平台上。

性能

设计光学顶端的主要目标是尽可能地构建光学顶端，DAEIL SYSTEMS自豪地坚持我们的蜂窝光学顶端满足客户。 我们的超级刚性光学顶部通过结构阻尼（蜂窝结构）减少相对运动; 因此，蜂窝结构增加了光学顶端的固有频率，有效地抵抗了偏转并且使通过隔振的剩余振动最小化。
DAEIL光学陀螺的性能由柔量曲线测量。 柔量曲线指示光学顶端如何刚性地减弱静态力（应用的增加或移动）和动态力（环境振动）。 由于柔顺曲线与光学性能水平密切相关，DAEIL光学顶部确保了图表所示的顺应性水平。

DVIA-M隔离器的规格

光学顶端通用规格

芯钢蜂窝芯结构，0.25mm（1in。）厚箔
芯体尺寸3.2㎠（0.5in²）
核心剪切模量19339kgf / cm2（275,000psi）
表面平整度在600mm²（2 ft。）以上±0.1mm（±0.004 in。）
顶部皮肤430系列铁磁性不锈钢4.0mm厚
底部4.5mm厚的碳钢板
侧墙2.0毫米厚的碳钢板与阻尼复合木材
安装孔M6-1.0（1 / 4-20）
安装孔栅格25毫米（1英寸）栅格
安装孔边界37.5mm（1.5英寸）
安装孔密封深度21mm清洁圆柱形杯子，耐化学品的尼龙66材料
阻尼方法宽带阻尼
相对运动1.2 x 10 ^ -10mm（2400 x 1200 x 300 mm）
负载下的挠度1.1 x 10 ^ -5mm（2400 x 1200 x 300 mm）

动态2.1 x 10 ^ -5（2400 x 1200 x 300毫米）
偏转系数