全自主开发集成电路装备领域产品:
u硅片自动化传输装备(Sorter): 自主开发、客户定制化
u设备机械前端(EFEM): 自主开发、客户定制化
u机械手(Robot): 自主开发、大气&真空
u对准器(Aligner): 自主开发
u载盒台(Load Port): 自主开发
u核心传感模块(E84/Senor): 自主开发
u整机装备控制系统软件(OS): 自主开发
u天车系统(OHT): 自主开发、聚焦8英寸产线
可根据用户使用需求,进行定制化研发制造。
lwanquan自主化的多自由度关节机械手
l具有zhuanli技术的俯仰片盒承载装置
l应对wafer翻转需求的特殊手指
l机械手具有Mapping功能
l能够应对厚度100 μ m-700 μ m晶圆
l运动能量平滑技术
lduyou安全限位技术,保障wafer安全
lWPH>250片/小时
lMTBF(平均wuguzhang时间)≥1300h
l可读取T7,M1.15