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DS300质量流量控制器气体配比器

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公司名称郑州科探仪器设备有限公司
品牌
型号
所在地郑州市
厂商性质其他
更新时间2024/5/3 11:30:40
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公司介绍主营产品

郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料创新型企业，如今公司的产品已经遍布国内大多数实验室及*校，科探仪器已经成为老师同学欢迎和信任的品牌之一公司以科技创新为主，服务社会为宗旨，积极设计开发新型材料制备设备，奉献于教育和科学，经过长期的研发和不断地技术积累，拥有热工，制造，控制相关技术10余项，为化学，物理，材料，电子，高分子工程，新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师同学强强联合，形成了有效的信息，技术交流平台，为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持！。目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉、CVD供气系统、等离子清洗机、小型离子溅射仪、小型蒸镀仪等，主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。公司与国内高校，科研院所有多层次的合作关系，建有开放实验室，相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念，依靠严谨的技术研发能力，科学合理的生产工艺，精益求精的制造要求，全心全意做好产品质量和服务工作，科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

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DS300质量流量控制器气体配比器 DS300压力式气体质量流量控制器是针对半导体行业开发的一款适用于半导体装备的气体质量流量控制器，用于半导体器件的刻蚀、溅射等工艺。DS300采用基于压力原理的流量传感器技术和高精度压电阀控制技术使产品具有零漂小，精度高，响应速度快，压力不敏感的特点，产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属，金属表面状况符合SEMI标准的要求。

DS300质量流量控制器气体配比器产品信息

DS300质量流量控制器气体配比器

DS300压力式气体质量流量控制器是针对半导体行业开发的一款适用于半导体装备的气体质量流量控制器，用于半导体器件的刻蚀、溅射等工艺。DS300采用基于压力原理的流量传感器技术和高精度压电阀控制技术使产品具有零漂小，精度高，响应速度快，压力不敏感的特点，产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属，金属表面状况符合SEMI标准的要求。

DS300质量流量控制器气体配比器

• 控制精度高，精度可达±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
• 响应速度快，响应时间≤ 0.5sec。
• 采用基于压力原理的流量传感器技术，使产品具有压力不敏感特性，能够适用较大的气源压力波动。
• DS300采用有效的机械加工技术与表面处理技术解决深小孔不能或者很难电抛光(EP)的难题，实现孔径相对较小(孔径<1mm)、深径比相对较大(>10)的不锈钢小孔、深盲孔以及交叉孔的表面电化学抛光处理，*符合SEMI标准要求。

技术参数

DS300C
类型	DS300C
阀类型	常闭
流量规格(N2)	(0～30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10) SLM
准确度	±1% S.P. (≥10% F.S.) ±1% F.S. (＜10% F.S.)
线性	±0.5% F.S.
重复精度	±0.2% F.S.
响应时间	≤ 0.5sec
进口压力	240～450KPa 流量规格≤5SLM 350～450KPa 流量规格＞5SLM
出口压力	≤1.2KPa 流量规格≤5SLM ≤13.3KPa 流量规格＞5SLM
温度系数	零点：≤±0.02% F.S./℃；调节时：≤±0.1% F.S./℃
耐压	3 MPa
漏率	1×10-11 Pa·m3 / sec He
密封材料	金属密封
工作压力	0.45MPa
工作环境温度	（10～45）℃
输入信号	数字：RS485 或 DeviceNet 模拟：(0～5)VDC
输出信号	数字：RS485 或 DeviceNet 模拟：(0～5)VDC
零漂	在没有零点校正时＜0.6%F.S./年
电源	±8～±16 VDC (双极) 或 +14～+28 VDC (单极)
表面化学成分	Cr/Fe比例≥2.0； CrO 厚度≥20 （埃）
表面粗糙度	Ra 5μinch
标准接头形式	VCR1/4阳接头； 1.125″C型密封接头； 1.125″W型密封接头； Compression Fittingφ6
电源接头形式	D型9针阳接头； D型15针阳接头； DeviceNet接头
重量	1.2Kg