D9650 超声波显微镜

更具灵活性及细节的声学检测

功能和优势

● 采用Sonolytics 2™ ——简单、直观的操作界面——时间发现缺陷

● 一次扫描可性采集多达100幅图像，有效节省时间

● 采用Windows 10操作系统并与现有网络兼容

● 易进入扫描区，简化加载和卸载过程

● 可选功能包括水循环、水加热、非浸水瀑布式™换能器和数字图像分析

D9650™延续了上一代产品的良好精度和稳定性，新增改良版电子软件平台融合了PolyGate™技术和Sonolytics™技术。D9650适用于故障分析、工艺开发、材料特性描述及低容量生产环境。

无论是故障分析、工艺开发、材料特性表达、小批量生产还是其他实验室检测，D9650均可提供丰富的功能。D9650可在反射和/或透射模式下工作。

D9650不断拥有的SONOSCAN创新技术，兼而采用人性化设计。通过采用符合人体工程学的设计，提供舒适方便的使用体验。通过的应用程序Sonolytics 2™软件和直观的操作界面菜单增进效益，同时节省操作时间。

D9650是新一代C-SAM超声波扫描显微镜，可提供一系列技术、符合人体工程学的设计和SONOSCAN开发的功能。

D9650产品规格

规格

采用PolyGate™同时捕获100个深度(门栈)，同时提供独立增益、彩色映射和波形分析。

时域成像TDI™包括：

· A扫描，显示换能器信号

· B扫描，提供横截面图像

· C扫描，提供二维平面图像

· 批量扫描，显示材料内部缺陷

· 多重扫描，同时采集不同层级的图像

· 表面扫描，显示表面缺陷

· 界面扫描，突显材料间变化

· 回波丢失(LoBE)，形成上述缺陷的阴影

· SONOSCAN的Q-BAM™，提供样品的聚焦横截面图

· 3D-TOF，使用基于时间的分析创建深度或厚度图像

· 可选THRU-Scan™显示材料连续性和脱层或空洞

· 可选同时THRU-scan和反射STaR，通过同时采集THRU-Scan和所有时域图像以节省时间

波形分析模式

· 振幅测量峰间信号和极性

· 集成模式™可以突出衰减的信号

· 剖面分析从前表面到目标界面的距离

· 时差计算两个界面之间的距离

· ASF™（声学表面平整度）测量表面的翘曲变形。 US 8,794,072 B2

· 通过声学阻抗极性检测器提供极性（如相位）和振幅信息 US 4,866,986

高级触发工具

· 正、负和±交叉

· 自动前界面回声(FIE)模式，通过自动捕捉个反射界面节省时间

· 采用动态触发模式补偿内部厚度变化

· 主冲击信号模式使高级用户可以利用高级触发模式功能来查看整个A扫描信号。门限触发模式用于应对更具挑战性的应用

AutoScan可以通过预先编程的位置、焦点、扫描尺寸和分析指令自动检测和分析托盘上各部分组件的排列。

通过采用Multi-Focus-PolyGate快速发现合适的设置，提供一系列图像以备选择。

系统

机械

扫描区域：314 mm x 314 mm

X-Y轴精确度：0.5微米

马达：X轴高速线性；Y轴步进器；Z轴步进器

电气性能

脉冲发生器/接收器：优化用于换能器；5MHz-230MHz；95 dB增益0.5 dB步进

数字转换器：1 8位LSNB1时，1 GSPS

数字门限：1 ns至10,000 ns

操作系统：Windows 10 Sonolytics 2™

系统设备要求

通用电压：90V交流至250V交流50/60Hz；单相15安电路120V交流

尺寸：宽度：1892 mm；深度：737 mm；高度1588 mm

重量：最小420千克，500千克

给排水：注水：½"内径软管；填压：150千帕±50千帕；排水：½"内径软管；排水台：½"内径软管

可选功能和设备

· 水管理模块可提供自动填充注水、排水、再循环、过滤和溢流保护功能

· 瀑布式换能器提供非浸泡扫描

· 热水模块用于降低水的衰减频率

· 数字图像分析(DIA)包括区域部分分析（包括Mil-Std-883、Method 2030）、图像优化、直方图、FFT、多区域分析和厚度计算，用于量化声学数据

· VRM™（虚拟重新扫描模块）储存99% A扫描数据，能够对不可用的部件做进一步分析

· 通用晶圆夹具

· AIMM™（声学阻抗测量模块）用于测量材料的声学阻抗

· 厚度测量模块

· 光频谱分析模块

· HRU-Scan扫描臂

· 反射和投射同时成像