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等离子体光谱仪/OES/PES

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公司名称上海德竹芯源科技有限公司
品牌
型号CrookesI
所在地上海
厂商性质其他
更新时间2024/5/15 9:10:21
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公司介绍主营产品

上海德竹芯源科技有限公司是一家专注于功率器件、光电器件、射频器件、量子器件、MEMS传感器领域的设备销售、系统集成、设备国产化的公司。主要为高校、研究所、中试量产线及晶圆FAB厂提供半导体工艺设备、检测设备、封装设备、测试设备。目前公司已成为国内少数几家专业提供半导体工艺、检测、封装、测试整体解决方案的企业。公司主要成员为复旦大学、上海微系统所等半导体相关专业博士，拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售前售中、售后的服务。目前公司已与众多国际半导体设备企业建立了良好的合作关系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根据用户的科研方向和量产的器件类别提供相应的全套设备选型和工艺整体解决方案。

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无线电综合测试仪

产品简介在线询价

等离子体光谱仪器Crookesl，针对半导体等离子体工艺设备开发，兼具原位监控和谱线分析功能，解决等离子体工艺稳定度监控，等离子体工艺过程监控，等离子体工艺实时反馈控制，适用于等离子体工艺相关的工艺研发和产线监控。

等离子体光谱仪/OES/PES 产品信息

设备原理

通过搜集原子发射光谱并分析特征波段/波长的谱线实现对等离子体的监控和反馈控制。

设备构成

● 等离子体发光光谱仪

高性能光谱仪，覆盖紫外到红外波段，精度/灵敏度根据工艺需求选择，可检测绝大部分微加工制备工艺涉及的元素。

● 等离子体监控&分析软件

针对反馈控制，终点检测，稳定性监控等多种工艺需求定制，可实时显示光谱变化三维图，优化积分算法处理判定。根据用户自定义添加的光谱数据库。

● 光学系统集成

可定制化系统集成，真空外检测和真空内检测多种集成方式，防镀膜设计光学探头。

主要功能和特色

● 实时等离子体光谱采集，全数据时域&频域光谱分析

● 自动谱图寻峰及原子谱线数据库匹配

● 等离子体光谱单一峰位&连续波段积分强度监视

● Recipe编译/执行操作模式

主要应用

● 等离子体刻蚀终点检测（IBE/IRBE/RIE/ICP-RIE）

● 等离子体稳定度均匀度检测（大面积离子源，腔内等离子体分布）

● 等离子体反应气体组分控制（反应溅射沉积，HiPims，PECVD，Plasma Clean，ATM Plasma）

	高精度等离子体光谱检测仪	高信噪比离子体光谱监测仪	多通道等离子体光谱监测仪
主机型号	CrookesI	CrookesI-Pro	CrookesI-Trident
通道数量	1	1	3
光谱波长范围	200 ~ 1100 nm	220 ~ 980 nm	200 ~ 1100 nm
光谱分辨率	1.3 nm	1.8 nm	1.3 nm / 1.8 nm
波长精度	0.12 nm	0.2 nm	0.12 nm/ 0.2 nm
信噪比	500 : 1	1000 : 1	500 : 1 / 1000 : 1
I/O接口	2 路模拟输出、4 路模拟输入、8 路数字输入输出
计算机通信接口	GPIB / RS232 / USB
尺寸	195 × 275 × 90 mm³
重量	2.5 kg	2.5 kg	3.5 kg
用电	单相 220 V, 5 A