主要特点
● 切割速度快,切割效果好,良率高
● 提供整套的裂片&扩片设备,完整的解决方案
● 工艺成熟,可针对不同类型的碳化硅晶圆进行切割
性能指标
● 加工对象:碳化硅晶圆
● 激光种类:红外皮秒脉冲激光器
● 激光功率:≥ 4W
● 冷却方式:风冷
● X轴:行程 450mm,解析度 0.1um
● Y轴:行程 700mm,解析度 0.1um
● Z轴:行程 20mm,解析度 0.1um
● θ轴:行程 120°,解析度 0.001°
● 切割厚度:1mm
● 切割轴速度值:500mm/s
● 加工尺寸:6 寸(可升级至 8 寸)
应用材料和领域
● 应用于航天航空、电力电子等行业微波器件,功率器件的晶圆片的切割(以碳化硅材料为基板的晶圆)
加工效果示例图