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ASTRO PACT-10H 等离子去胶机

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具体成交价以合同协议为准

公司名称上海德竹芯源科技有限公司
品牌
型号ASTROPACT-
所在地上海
厂商性质其他
更新时间2024/5/15 9:11:25
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公司介绍主营产品

上海德竹芯源科技有限公司是一家专注于功率器件、光电器件、射频器件、量子器件、MEMS传感器领域的设备销售、系统集成、设备国产化的公司。主要为高校、研究所、中试量产线及晶圆FAB厂提供半导体工艺设备、检测设备、封装设备、测试设备。目前公司已成为国内少数几家专业提供半导体工艺、检测、封装、测试整体解决方案的企业。公司主要成员为复旦大学、上海微系统所等半导体相关专业博士，拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售前售中、售后的服务。目前公司已与众多国际半导体设备企业建立了良好的合作关系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根据用户的科研方向和量产的器件类别提供相应的全套设备选型和工艺整体解决方案。

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无线电综合测试仪

产品简介在线询价

主要应用晶圆显影后的底胶去除或者干法蚀刻工艺后变性的光刻胶去除，光刻胶的去除及对样片是否有损伤，将影响到后续工艺和器件的性能。

ASTRO PACT-10H 等离子去胶机产品信息

● 应用领域：高剂量离子注入光刻胶的去除，湿法或干法刻蚀前后残胶去除，MEMS 中牺牲层的去除，去除化学残余物，去浮渣工艺，SU-8 光刻胶去除等

● 优势：去胶速度快，对产品损伤小，设计紧凑，操作简单

● 工艺腔室：铝材质，尺寸 350(W)×350(D)×170(H)mm

● 样品尺寸：12 寸，向下兼容

● 腔门：抽屉式带加热台盘 60 - 200℃（选配 250℃ 加热台盘），带观察窗

● 微波源：2.45GHz， 1200W

● 气路：标配两路工艺气体，带质量流量计（可升级至 4 路）