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TS系列 低压化学气相沉积LPCVD

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称上海德竹芯源科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号TS系列LPCV
  • 所  在  地上海
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/5/15 9:15:55
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上海德竹芯源科技有限公司是一家专注于功率器件、光电器件、射频器件、量子器件、MEMS传感器领域的设备销售、系统集成、设备国产化的公司。主要为高校、研究所、中试量产线及晶圆FAB厂提供半导体工艺设备、检测设备、封装设备、测试设备。目前公司已成为国内少数几家专业提供半导体工艺、检测、封装、测试整体解决方案的企业。公司主要成员为复旦大学、上海微系统所等半导体相关专业博士,拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售前售中、售后的服务。目前公司已与众多国际半导体设备企业建立了良好的合作关系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等),致力于根据用户的科研方向和量产的器件类别提供相应的全套设备选型和工艺整体解决方案。
无线电综合测试仪
低压化学气相淀积(LPCVD)是在低压条件下通过气体混合的化学反应在硅片表面淀积一层固体膜的工艺。例如:氮化硅薄膜淀积、多晶硅薄膜淀积、非晶硅薄膜淀积、二氧化硅薄膜淀积等。
TS系列 低压化学气相沉积LPCVD 产品信息

适用于氮化硅工艺 – 标准和低应力工艺

适用于掺杂、非掺杂多晶硅工艺

适用于掺杂、非掺杂 TEOS 工艺

适用于掺杂、非掺杂 LTO/ HTO

支持 6 ~ 12 寸的晶圆

有保证的工艺指标

可提供所有标准工艺和定制化工艺


主要系统特性

在一个系统中进行原位氧化和多晶沉积

提供固有和原位掺杂聚工艺

高批量负载

高达 210mm 的晶圆尺寸


客户利益

的钝化 iVoc > 整个负载下 730 mW

通过高系统吞吐量实现低的 CoO

在大批量生产中久经考验的 TOPCon 生产解决方案

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