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R-200 Advance 原子层沉积系统

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称上海德竹芯源科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号R-200Advan
  • 所  在  地上海
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/5/15 9:18:17
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上海德竹芯源科技有限公司是一家专注于功率器件、光电器件、射频器件、量子器件、MEMS传感器领域的设备销售、系统集成、设备国产化的公司。主要为高校、研究所、中试量产线及晶圆FAB厂提供半导体工艺设备、检测设备、封装设备、测试设备。目前公司已成为国内少数几家专业提供半导体工艺、检测、封装、测试整体解决方案的企业。公司主要成员为复旦大学、上海微系统所等半导体相关专业博士,拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售前售中、售后的服务。目前公司已与众多国际半导体设备企业建立了良好的合作关系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等),致力于根据用户的科研方向和量产的器件类别提供相应的全套设备选型和工艺整体解决方案。
无线电综合测试仪
Picosun R-200 系列原子层沉积系统是一款多功能的原子层沉积平台,是用于研发的理想选择,适用于 IC 器件、MEMS 器件、显示器、LED、激光器以及透镜、光学部件、珠宝、硬币、医疗植入物等 3D 部件的研发。
R-200 Advance 原子层沉积系统 产品信息

适用 2 - 8 inch 晶圆,156mm × 156mm 太阳能硅片

可适用于多孔,通孔,高深宽比样品(可达 1 : 2500)

工艺温度:50 - 500℃

Advance 型号配有等离子处理系统,工艺温度 450℃(可选配特定chuck盘至 650℃)

适用镀膜种类:Al2O3,TiO2,SiO2,Ta2O5,HfO2,ZnO,ZrO2AlN,TiN,Pt,Ir 等

手动上料,可选配机械臂,搬运机器人或 Cassette-to-Cassette 上料

前驱体种类:液体、固体、气体、臭氧源、等离子体等

关键词:搬运机器人
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