设备名称:硅片热处理回转炉
设备型号:BXG-36-11
炉胆尺寸:φ219*3000mm(直径*长度)
炉胆材质:SUS2520高温不锈钢
烧结时间:可根据产品工艺调节
使用气氛:空气中烧结
额定功率:36KW
电压:380V
相数:三相
额定温度:1100℃
控制精度:±1℃
炉膛及保温材料:氧化铝陶瓷纤维
控制方式:可控硅移相调压
报警保护:超温报警保护
温控仪表:定值温度表
热电偶:K型
旋转速度:1-6/min(变频调节)
炉壳整体材质:A3钢
加热温区:分成4个温区,4个温区单独控温
加热元件:硅碳棒
加热方式:上下加热
控制系统:温度控制采用PID自动控制,自动升温调节,PID自整定,过零触发。
执行元件可控硅,具有无机械触点,无噪声、寿命长,对电网无干扰等优点,操作集中观察直观。
硅片热处理回转炉
注:硅片热处理回转炉可根据客户要求设计定作,详情请