ALICAT 气体质量流量控制器-耐腐蚀型 21S系列316L

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产品特色

● 数字化产品

● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等

● 多参数控制，如体积流量、质量流量和压力

● 可选高精度：优于0.5%

● 可测范围广， 1~99%

● 响应时间快，优于100 ms

● 内置130种常规及腐蚀性气体

● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气

● 可适用于诸多腐蚀性气体

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技术指标

介质要求    洁净、干燥的气体，腐蚀和非腐蚀性均可

介质种类    内置了130种气体，请参考气体兼容表

                  一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量       程    从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（）

测量和控制范围    1～99%

显示流量    128 %满量程

可控流量    102.4 %满量程

显  示  屏    带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏

显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精       度    ±（0.8 %读数 + 0.2 %满量程）

                  ±（0.4 %读数 + 0.2 %满量程）（可选）,仅适用于量程为5 SCCM - 500 SLPM的设备

累计流量精度    流量精度之外增加±0.5%额外误差

重  复  性    ± 0.2 %满量程

零点漂移 & 满量程漂移    0.02% 满量程 / ℃ /  Atm

响应时间    优于100 ms

预热时间    ＜ 1 s

标定工况    25 ℃ & 1 Atm（其它标况可调）

工作温度    -10 ～ 60 ℃（可选高温至100℃）

温度精度    ± 0.75℃

工作湿度    0  ～ 99%，无冷凝

工作压力    1 MPa 表压

操作压力    如果不做真空特殊标定，建议在绝压80KPaA以上使用；其他真空压力建议做特殊标定

满量程压损    参考详细压损表

数据刷新频率    数字信号40 Hz@19200波特率；

                         模拟信号：1000 Hz

屏幕刷新频率    10 Hz

数字输入/输出信号    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*

模拟输入/输出信号    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可选第二路模拟输出    质量流量、体积流量、压力、温度

模拟信号精度    在基础误差上额外增加±0.1%量程误差

供电电压    7 - 30 VDC （如选4-20 mA输出，须为15-30 VDC ）

供电电流    250 mA，1 A，2 A（详情咨询）；额外加 40 mA（ 4–20 mA ）

电气接口    DB9，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN

泄漏率（外漏）    选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10^-9Atm cc/s He

材       质    316L不锈钢、303不锈钢、430FRSS、FFKM（Kalrez），可根据特殊气体选用Viton、EPDM、Buna、Neoprene

过程连接    详情参考压损表

安装方式    对位置无要求

防护等级    IP40

认       证    ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）

*如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需来电垂询

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选项配件

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