ALICAT 气体质量流量控制器 01系列

---

产品特色

● 价格低廉，

● 超小的体积，轻松置于掌心，适合系统集成

● 快速响应，优于70 ms的预热时间

● 压损极低，满量程仅为1KPa

● 内置精巧的PD阀（比例微分阀），控制稳定、精确

● 测量和控制范围0.5 ~ 99%满量程，一台设备适用于多个应用

● 配备模拟控制和数字控制

● 的抗振性能，可适用于铁路焊机等严格场合

---

技术指标

介质要求    洁净、干燥、无腐蚀性气体

介质种类    每台设备只能选ABC其中的一种：

                  A：空气、氩气、二氧化碳、氮气、氧气、一氧化二氮，可通过RS485切换

                  B：仅支持氢气

                  C：仅支持氦气

量       程    0 - 100 SCCM ，0 - 1000 SCCM， 0 - 20 SLPM， 0 - 50 SLPM

                 （注：选择CO₂和N₂O后量程降低为原来的75%。）

测量和控制范围    1 ~ 99% （0-100 SCCM）

                             0.5 ~ 99% （0-1000 SCCM、0-20 SLPM、0-50 SLPM）

可控流量    102 % 满量程

精       度    ±（1.5 % 读数 + 0.5 % 满量程）

重  复  性    ± 0.5 % 读数

质量流量温度漂移    ± 0.2 % 满量程 / ℃

零点漂移&满量程漂移    0.05%满量程/年

响应时间    优于100 ms

预热时间    70 ms

标定工况    25℃ & 1Atm（其它标况可调）

工作温度    0 ～ 50℃

工作湿度    <  90 %，无冷凝

工作压力    0-100 SCCM、0-1000 SCCM为1MPa，

                         0-20 SLPM、0-50 SLPM为60 PSIG

满量程压损    1 KPa

数字输入/输出信号    RS485、RS232、Modbus

模拟输入/输出信号    0 - 5 VDC、4 - 20 mA

供电电压    10-30 VDC

供电电流    200 mA

阀门泄漏率    内漏：10^-5 Atm – cc/sec He

                      外漏：10^-9 Atm – cc/sec He

材       质    主体材质：316不锈钢

                  阀体材质：黄铜

                 密封材质：FKM （Viton）

                 传 感 器：氮化硅

过程连接    NPT 内螺纹

振       动    20g；MIL-STD-883E, Method 2002.4

安装方式    对位置无要求

防护等级    IP40

认       证    CE、RoHS、REACH

---

选项配件

---