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特点
1) 高精度质量流量控制器，优于1 %的精度。
2) 高效的混气装置和的防吸附管路设计，适用于易吸附、易反应化合物的稀释配气。
3) 宽动态范围（常规稀释倍数1:1~1:10000）；可扩展。
4) 超快速气体流量控制（稳定时间＜100 ms）。
5) 预热时间≤5min。
6) 配置灵活。 标气单路最多可切换 4种气体。
7) 具有存储功能，可存储30个校准点。具备序列校准功能，可存储30种校准序列。
8) 具备定时功能，仪器自动启动序列校准。
9) 具备Ethernet、RS485、RS232接口，可远程控制仪器工作。
10) 仪器具备自动清洗功能，能够自动进行管路清洗。
技术指标
基本参数 | ||||
型号 | B600 | B600S | ||
稀释系统 | 稀释原理 | 质量流量控制器（MFC）/ 动态稀释法 | ||
流量精度 | ±0.8%设定点（流量＞30% FS） ±0.5%FS（流量≤30% FS） | ± 0.6% RD或± 0.1% FS （取值） | ||
流量重复性 | ±0.2% FS | ±0.2% FS | ||
稀释比 | 1:1~1:1000（可定制） | 1:1~1:10000（可定制） | ||
响应时间 | ≤600ms | ≤100ms | ||
预热时间 | ≤5min | ≤1min | ||
稀释气流量范围 | 0~10SLPM | |||
可选范围 | 0~5 SLPM / 0~20 SLPM（其他量程） | |||
标准气流量范围 | 0~100 SCCM | |||
可选范围 | 0~50 SCCM / 0~200 SCCM / 0~500 SCCM（其他量程） | |||
管路材质 | 316L不锈钢/PFA/PTFE | |||
标气输入端口 | 4 | |||
稀释气输入端口 | 1 | |||
校准气输出端口 | 1 | |||
废气输出端口 | 1 | |||
电气指标 | 供电要求 | 200~240V，50/60HZ | ||
工作功率 | ≤50W | |||
通信指标 | 通信接口 | 1×Ethernet：10/100Base-T 1×RS485 1×USB 2×RS232 | ||
通信协议 | Modbus-RTU（RS232和RS485） | |||
物理指标 | 工作温度范围 | 0~50℃ | -10~60℃ | |
工作湿度范围 | 20~90%RH（无冷凝） | |||
存储温度 | -20~85℃ | |||
尺寸 | 560×482×133mm（长×宽×高）（含把手） | |||
重量 | 15kg | |||
注1：标气流量、稀释气流量、校准气体输出流量范围、稀释比、机箱尺寸可根据用户要求定制。
注2：产品具体的稀释比范围与输出流量范围有关，详细请咨询厂家。
注3：提供的数据仅供参考，如有变更，恕不另外通知。
尺寸详图
