ALICAT 气体质量流量计 20系列

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产品特色 

● 数字化产品

● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等

● 可选高精度：可优于0.5%

● 可测范围广，0.01~99%

● 响应时间快，优于10ms

● 内置98种气体

● 可现场标定混合气体，并存储20种混合气

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技术指标

介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类    内置了98种气体，请参考背面

                  一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量       程    从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（）

测量范围    0.01～99%

显示流量    128 % 满量程

显  示  屏    带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏

显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精       度    ± （0.8 % 读数 + 0.2 % 满量程）见上段精度升级部分

                  ± （0.4 % 读数 + 0.2 % 满量程）（可选）

累计流量精度    流量精度之外增加± 0.5 %额外误差

重  复  性    ± （0.2 %读数+0.02 %满量程）

质量流量温度漂移    0.02 %满量程当温度从25 ℃起每变化1 ℃

质量流量压力漂移    ± （0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程）当压力从标定压力起，每变化1bar

响应时间    优于10 ms   

预热时间    < 1 s

标定工况    25 ℃ & 1Atm（其它标况可调）

工作温度    -10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）

温度精度    ± 0.75 ℃

工作湿度    0 ～ 95%，无冷凝

工作压力    1 MPa 表压（可选2 MPaG高压系列）

操作压力    如果不做真空特殊标定，建议在绝压80 KPaA以上使用；

其他真空压力建议做特殊标定

压力精度    ± 0.5 % 读数（读数＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）

进出口压差    0.5MPa

满量程压损    参考详细压损表

数据刷新频率    数字信号40 Hz@ 19200波特率；

                         模拟信号：1000 Hz

屏幕刷新频率    10 Hz

数字输入/输出信号    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*

模拟输入/输出信号    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可选第二路模拟输出    质量流量、体积流量、压力、温度

模拟信号精度    在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 量程误差

供电电压    7-30 VDC （如选4 - 20 mA输出，须为15 - 30 VDC）

供电电流    40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）

电气接口    DB9，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN

泄漏率（外漏）    选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10^-9Atm cc/s He

材       质    302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝

过程连接    详情参考压损表

安装方式    对位置无要求

防护等级    IP40

认       证    ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH、CSA （可选）

* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需来电垂询

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精度升级

量程为0.5 SCCM -6000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指标升级：

质量流量普通精度    ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程（取值）

质量流量高精度        ± 0.5% 读数或± 0.1% 满量程（取值）

重复性                      ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）

质量流量零点漂移    ± 0.01%满量程/ ℃温差

                                ± 0.01%满量程/ Atm压力差

质量流量量程漂移    ± 0.01%读数/ ℃温差

                                ± 0.1 %读数/ Atm压力差

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