ES 气体质量流量计 EFM500系列

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产品特色

EFM500气体流量传感器的特征是：可双向检测气体流量，测量范围是±（20-500 ）SLPM，总误差为读数的1%。流线型对称设计，高质量塑料制造，即使在双向流量下也呈现非常低的压降。校准气体为空气，也可根据要求提供其他非腐蚀性气体。

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性能指标

校准气体    空气，其它可用气体根据要求

流量范围    ±（ 20-500 ）SLPM，双向或单向

供电电压    3.3V 或 5V

工作压力    1.45BarA

预热时间    35ms

输出信号    I2C，SPI，0-5V，0-3.3V

总 误  差    1%读数

ADC分辨率    16位

输出刷新率    1ms（ 1KHz ）

压       损   <750pa@200 SLPM

操作温度    - 40℃ ~ 85℃

校准温度    0℃ ~ 50℃

湿       度    0% - 95% RH, 无冷凝

尺       寸    44×92.8×35.4mm（W×L×H)

材       质    接液材质：增强玻璃热塑性聚合物、金、硅、氮化硅、硅氧化物、

                  环氧树脂、硅橡胶、FR4、聚氨酯、316不锈钢

                  外壳材质：增强玻璃热塑性聚合物

过程接口    22mm ISO 5356

电气接口    2mm 锁定连接器

认       证    RoHS, CE,WEEE

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选项配件

评估套件

气体流量评估套件被设计成一款即插即用型设备，无需定制软件或硬件设计及开发，旨在为用户提供一个紧凑的解决方案来评估EFM500系列双向气体质量流量计。开发了一个用户友好的软件用于记录和监测EFM500系列的流量数据。

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