智能制造网>产品库>智能控制>传感器>其它传感器>>晶圆检测晶圆定位传感器 M-DW1

晶圆检测晶圆定位传感器 M-DW1

参考价	面议

参考价

面议

具体成交价以合同协议为准

公司名称北京科恩众和工业控制技术有限公司
品牌
型号M-DW1
所在地北京市
厂商性质代理商
更新时间2024/12/15 9:10:38
访问次数113

产品标签:

在线询价收藏产品点击查看电话

联系我们时请说明是智能制造网上看到的信息，谢谢!

索取相关资料

公司介绍主营产品

北京科恩众和工业控制技术有限公司成立于1999年9月，是一家集工业自动化控制产品销售、系统集成、产品开发、工程项目、技术咨询、产品维修等业务于一体，为广大用户提供*技术支持和服务的专业公司。

在过去的几年里，北京科恩众和工业控制技术有限公司与多家**公司合作，向广大中国用户提供当今世界*的工业自动化控制产品和技术。公司代理、销售的产品已广泛应用于印刷、包装、玻璃、纺织、机床、橡塑、烟草、冶金、石化等产业机械以及航空航天、*空调、节能改造等领域。公司承揽了很多的工程项目、产品开发等工作，同时也得到了广大用户的信任和支持，使得公司在广泛的合作中保持良性发展。

公司拥有一批专业技术人员，具有完善的系统集成、产品开发、工程项目实施等技术能力。可根据用户的要求为用户提供良好的系统集成方案、承接新产品开发以及运动控制系统、机器视觉系统、工业现场总线、网络通讯等自动化系统工程项目。现如今，公司正逐步向一个实力强大的高科技系统工程公司迈进。

公司倡导每一位员工遵循“送人玫瑰，手留余香”的人生理念，尊重每一个合作方的意愿，在双方或多方合作中努力实现“公赢”、“共发展”。

公司愿与广大用户真诚合作，同步提升，共创美好未来！

展开显示更多内容

PLC;触摸屏;变频器;减速机;传感器;编码器;松下;三菱;图像检测;施耐德;威纶;贝加莱;新宝

产品简介在线询价

采用安全的LED光源的反射型晶圆定位传感器

晶圆检测晶圆定位传感器 M-DW1 产品信息

采用安全的LED光源的反射型晶圆定位传感器

※1

※2

※1	EMC指令
※2	Recognition认证

特点

安全性的LED式

以往使用激光的激光式定位传感器，激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员，十分危险。
M-DW1成功使用LED光源。确保操作人员安全。

亦可检测玻璃晶圆

M-DW1以反射光的位置来检测，不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。

可检测涂氮晶圆

氮化膜具有可吸收特定波长光的性质，吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。因此，对于使用单波长激光的传感器，可能会因光全被吸收而无法检测。
而LED光源的光具有一定波长段，即使氮化膜晶圆也可准确检测。

0.5ms的高速反应

实现0.5ms的高速反应。兼顾高速反应性和高精度。

基于2段受光元件的高精度位置检测

利用反射光量检测时，反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。M-DW1的受光部使用2段受光元件，通过反射光位置而非反射光量进行检测。因此，受晶圆厚度和反射光量的影响较小。

可从四个方向引出电缆

传感器可以从正前方、右侧、左侧、下方四个方向引出电缆。可根据传感器的设置情况灵活调节。

内置放大器的小巧、轻盈型

尺寸为宽度80.6mm×厚度18.3mm×进深50mm，质量约为75g的小巧、轻盈型。

种类

型号	形状	中心检测距离	检测物体	输出
M-DW1		45mm	3以上的半导体晶圆	NPN输出／PNP输出通过切换开关选择

规格

种类		LED式反射型
型号		M-DW1
中心测量距离		45mm
检测物体		3英寸以上的半导体晶圆(注2)
可对应检测面		有受光方向反射面的端面形状的检测面(注3)
检测角度		12.5±5°(注4)
晶圆间距		间距3mm以上时，可按通常灵敏度进行分离检测(注5)
适用晶圆盒		SEMI规格FOUP晶圆盒/开放式晶圆盒
电源电压		12〜24V DC±10%　脉动P-P10%以下
消耗电流		65mA以下
输出		NPN输出／PNP输出　可由切换开关选择 NPN开路集电极晶体管・流入电流：100mA ・外加电压：30V DC以下(输出和0V之间) ・剩余电压：1V以下(流入电流为100mA时) 　　　　　　　 0.4V以下(流入电流为16mA时) PNP开路集电极晶体管・源电流：100mA ・外加电压：30V DC以下(输出和+V之间) ・剩余电压：1V以下(源电流为100mA时) 　　　　　　　 0.4V以下(源电流为16mA时)
	输出动作	可用切换开关选择入光时ON/非入光时ON
	短路保护	装备(自动复位)
反应时间		500μs以下
工作状态指示灯		橙色LED(输出ON时亮起)
稳定指示灯		绿色LED(稳定入光时、稳定非入光时亮起点灯)
定时器功能		装备约2ms固定断开延迟定时器　有效/无效切换式
投光停止输入		信号条件・投光停止：断开或4〜8V ・投光：0〜3V或9V〜+V(26.4V MAX.)
灵敏度切换输入		信号条件・输入OFF：断开或4〜8V ・输入ON ：0〜3V或9V〜+V(26.4V MAX.)
灵敏度设定		背面教导：按本体灵敏度设定按钮运行检测灵敏度切换：本体开关2bit、4级或外部输入的2级选择式
环境性能	保护构造	IP20(IEC)
	使用环境温度	0〜＋55℃(注意不可结露)、存储时：−10〜＋70℃
	使用环境湿度	35〜85%RH、存储时： 35〜85%RH
	使用环境照明度	白炽灯：受光面照明度3,000lx以下、荧光灯：受光面照明度1,500lx以下
	耐电压	AC1,000V 1分钟　所有电源连接端子与外壳之间
	绝缘电阻	所有电源连接端子与外壳之间，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表
	耐振动	频率10〜500Hz　双振幅3mm　X,Y和Z方向各2小时
	耐冲击	耐久98m/s²(约10G) XYZ方向各5回
投光元件		LED(调制式)
材质		外壳：ABS及SUS301、透镜：丙烯
电缆		0.15mm² 5芯橡皮电缆，长300mm
电缆延长		0.15mm² 以上的电缆全长可延长至10m
重量		本体重量：约75g

(注1)：无的测量条件为使用环境温度＝+20℃。
(注2)：检测8英寸以下的晶圆时，可能会因晶圆间距、定位边或表面的状态等而影响检测。
(注3)：对于经研磨后厚度变薄的晶圆，如果其端面呈刀刃状，可能会因光线不能从检测面向受光方向反射而难以检测。
(注4)：晶圆旋转时，定位边的跳动角度约为±20°。
(注5)：斜向插入8英寸晶圆时的附近的间距。检测带定位边的晶圆时，对于避开定位边的检测位置，晶圆间距变得更窄，检测信号无法分解，变为连续的宽幅信号。