面积流量计

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本器は高精度フロート式流量計と、精密制御のできるニードルバルブを組み合せた高級グレードのバルブ付フロート式流量計です。微少流量の計測制御にZ適の製品です。

面积流量计产品信息

●超微少の流量制御が可能です。
●精密ニードルバルブ使用。
●下部?上部2タイプのバルブ。
●豊富なバリエーション。

●機器組込用に。
●半導体関連ガス機器に。
●バイオ産業向けに。
●真空ライン制御に。

	ガス	液体
流体名	Air,N₂,O₂,H₂,He,Ar,CO₂ （実ガス校正）他ガスは換算校正実ガス校正別途相談　※オプション：2種流体目盛	標準流体（水）他液体は換算校正実液校正別途相談
流量レンジ	0.5～5ML/MINから10～100L/MIN 　※オプション：0.5～3ML/MIN	0.5～5ML/MINから0.2～2L/MIN 　※オプション：0.5～3ML/MIN
精度	FS±2%（計測ポイント） ※オプション：FS±1%（計測ポイント）	FS±2%（計測ポイント）
耐圧	100ML/MIN以下：1.0MPa 5L/MIN以下：0.7MPa 10L/MIN以上：0.5MPa	5ML/MIN以下：1.0MPa 150ML/MIN以下：0.7MPa 200ML/MIN以上：0.5MPa
有効目盛	10：1　※オプション　20：1

材質	ＳＳ製	ＢＳ製
本体ブロック	SUS316	真鍮
テーパー管	パイレックス^®
パッキン	バイトン^®	ＮＢＲ
フロート	パイレックス^®、SUS316、SUS304
保護カバー	アクリル
耐温度	120℃	70℃
接続口	Rc1/4（標準）、Rc1/8（オプション）

mm	5ML	10ML	20ML	30ML	50ML	100ML	150ML	200ML	300ML
Ａｉｒ（大気圧条件流量） ML/MIN、L/MIN
126	○	○	○	○	○	○	○	○	○
156	-	○	○	○	○	○	○	○	○
206	-	-	-	-	○	○	○	○	○
256	-	-	-	-	-	○	○	○	○
mm	500ML	1L	2L	3L	5L	10L	15L	20L	30L
126	○	○	○	○	○	○	○	○	○
156	○	○	○	○	○	○	○	○	○
206	○	○	○	○	○	○	○	○	○
256	○	○	○	○	○	○	○	○	○
mm	50L	100L
126	○	-
156	○	○
206	○	-
256	○	-

Ｈ２Ｏ ML/MIN、L/MIN
mm	5ML	10ml	20ML	30ML	50ML	100ML	150ML	200ML	300ML
126	○	○	○	○	○	○	○	○	○
156	○	○	○	○	○	○	○	○	○
206	○	○	○	○	○	○	○	○	○
256	○	○	○	○	○	○	○	○	○
mm	500ML	1L	2L
126	○	○	-
156	○	○	○
206	○	○	○
256	○	○	-

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