OAI INSTRUMENTS光源
OAI INSTRUMENTS是业内生产可靠并精密设备的MEMS,半导体,纳米技术,洁净室自动化和紫外线光测量的优秀制造商。OAI系统可同时用于研发和生产半导体,MEMS和微流体装置。从光罩对准和UV光源UV电力仪表,OAI是在同行业中的者超过35年。OAI光功率计以其测量精度,重复性著称,测量数据符合美国NIST标准,广泛应用于半导体光刻能量测量及控制。
产品范围:OAI INSTRUMENTS光源
美国OAI INSTRUMENTS曝光机、OAI INSTRUMENTS光刻机、OAI INSTRUMENTS光源、OAI INSTRUMENTS、OAI INSTRUMENTS光功率计、OAI INSTRUMENTS分析仪
主要型号:OAI INSTRUMENTS光源
Model 306、Model 308、Model 311、Model 316、Model 317、Model 356、Model 357、Model 358、Model 457、Model 458、Model 459
美国OAI INSTRUMENTS Model 800半自动光刻机简介:
光刻方式:接近式,软,硬,真空接触式
曝光距离:0-3000μm
间隙调节步进:1um
机械精度:1.5um
光刻精度:软接触2um,硬接触小于1um
美国OAI INSTRUMENTS Model 6000全自动光刻机技术规格:
光刻方式:接近式,软,硬,真空接触式
基底尺寸:2-12寸晶圆或者zui大200mm方形
曝光分辨率:
真空接触:0.5-0.8um
硬接触:0.8-1.0um
软接触:1.0-3.0um
接近式(20um 间隙):3.0um
曝光均匀性:优于±3%
对准精度:顶面0.5um,底面1.0um(选件)
产量:180片/小时zui大
我司优势提供:
STORK-TRONIC 温控探头 TF PTC 6×100mm -35/105℃ 6m IP64
STUBBE(ASV-STUBBE) 气动阀 TYP;K210 NO;644610802
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TAPFLO 气动隔膜泵 TR20 TTT-7PV
TECMOTION 电动机 SM4065-P32/4.28-E2-500-157-I 24V-1100tr/min+E2-500-157-1-D-D-B
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TECNOCABLAGGI 变压器 COD.PSPMKS200003500004
TECSYSTEM 过负荷保护 T-154 AC/DC 24-240V
TECSYSTEM 变压器温控器 T154ED 08 24+240Vdc/ac
TECSYSTEM 变压器温控器 T154ED 08 24+240Vdc/ac
TER 急停按钮 PRSL1001PI
TER 凸轮开关 PFA9067A0050005
TUNKERS 气缸 PKS16-1-A00T03-105GRAD_构型
VAISALA 温湿度传感器 HMW82
Val.co(valco) 浮球液位开关 S1.B45.7.0100.O.FDPX
VALTEK 气动增速器 Supply:150psi MAX conn:3/4-inch NPT
WALTHER(Walther Prazision) 接头 HP-010-2-S1220-12-2
WATSON SMITH 电气转换器 422_4-20mA 3-15Psi
WATSON SMITH 电气转换器 INTRINSICALLY SAFE I/P CONVERTER:TYPE 122,输入:4-20mA
WEIGEL 交流电压变送器 V1U2.2 输入0-115V 48-60HZ 输出4-20MA 工作电源UH195-293V
WEIGEL 交流电流变送器 A1U2.2 输入0-5V 输出4-20MA 工作电源220V