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MMA 全自动桥式工具测量显微镜采用NIKON原装倾斜式三目镜筒，五段变倍鼻轮（可选自动变倍鼻轮）。提供超高清晰度测量画面，配以0.0001mm分辨率金属光栅实现更高的测量精度，同时Z轴采用新进的图像处理方式实现Z轴精准对焦测高，10X及以上物镜对焦重复性≤0.002mm，100X物镜对焦重复性≤0.001mm。
适用于半导体封装、焊接贴片、环路高度、FPD面板（LCM）、晶片级CSP等领域。
MMA 全自动桥式工具测量显微镜
升级扩展选项：
A、DIC微分干涉模块；
B、荧光模块。
机型参数：
| 仪器型号/仪器参数 | MMA650CNC | MMA800CNC | MMA1000CNC | |
| 仪器重量/kg | 1600 | 1800 | 2000 | |
| 外型尺寸L*W*H | 1400*1150*1050 | 1550*1150*1050 | 1720*1395*1055 | |
| 测量范围(mm) | X | 600 | 600 | 800 |
| Y | 650 | 800 | 1000 | |
| Z | 100 | 100 | 100 | |
| 工作台(mm) | 大理石台面 | 1400×1100 | 1500×1100 | 1670×1300 |
| 玻璃台面 | 748×718 | 898×718 | 1098*918 | |
| 承重 | 50kg | 50kg | 50kg | |
| 影像及测量系统 | CCD | 德国映美精1/3"彩色CCD，130万像素 | ||
| 光学头 | 日本尼康原装倾斜三目镜筒+五段变倍鼻轮（可选自动变倍鼻轮） | |||
| 目镜 | CFI 10X | |||
| 物镜 | 5X、10X、20X、50X、100X（倍率可选） | |||
| 光栅尺分辨率 | 0.0001mm | |||
| 测量精度(um) | X、Y线性精度：1.6+L/200 X-Y矢量精度：2+L/200 Z轴对焦精度≤0.002mm（10X及以上物镜） | |||
| 照明光源 | LED同轴落射光源+LED平行透射光源 | |||
| 工作电源 | 220v±10%（AC） 50Hz （注：需有电阻≤4Ω接地线） | |||
| 工作环境 | 温度：18~24℃、相对湿度：30~75%、远离振源 | |||
