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[代理] 两探针电阻率测试台(SZT-K型两探针电阻率测试台)

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  • 北京博伦经纬科技发展有限公司
  • 2017-04-15 10:46:51
  • 北京市西三旗上奥世纪中1号楼2单元401
  • 252

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【简单介绍】

SZT-K1型两探针电阻率测试台,是用来装夹棒类样品(圆或方截面),连接四探针测试仪器,进行两探针法电阻率测试的机具。是两探针法测试电阻率仪器的配套测量装置(以下简称测试台)。设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》,GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》,GBT 24525-2009 《炭素材料电阻率测定方法》。

【详细说明】

SZT-K1型两探针电阻率测试台,是用来装夹棒类样品(圆或方截面),连接四探针测试仪器,进行两探针法电阻率测试的机具。是两探针法测试电阻率仪器的配套测量装置(以下简称测试台)。设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》,GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》,GBT 24525-2009 《炭素材料电阻率测定方法》。

基本组成:测试台主要有底板、双轨水平导向单元、探头水平移动及测试压力调节单元、左右样品装夹单元等。
配套与兼容:本测试台自带两探针测试探头,兼容本公司大部分四探针测试仪器。
二、基本参数和可测半导体材料尺寸
两探针针距:10mm,15mm,20mm可调
可测样品:直径或边长: 圆截面≤ Φ50mm,或≤ 50mm×50mm方截面。
长(或高)度: 两端面顶持方式L≤420mm, 侧面夹持方式不限.
测量方位: 轴向(长度方向)。
三 、使用方法
3.1 放置样品:
 
根据样品长短和需要选择样品装夹方式,对于较粗短的适合用两端面对顶夹持方式,如图3.1A。对于较细长的样品适合用两端侧面夹持的方式,如图3.1B。
两端面夹持的方式样品放置操作步骤如下:
首先,把红色扳手向上向后板起,把两探针测试探头向上抬起,便于样品装夹,图3.2A,转动测试台底板右侧手轮,使得右装夹电极单元移动到左右电极距离稍大于样品长度,如图3.2A,左手托起样品,水平置于两电极之间,参照左右电极的“V”型槽和测试探头探针位置,将样品水平置于探头探针正下方,合适的垂直高度,右手转动手轮,向左移动右电极将样品从两端面夹紧。如图3.2B。为了样品和电极接触良好,在接触面垫上炭纸,下同。
 
 
两端侧面夹持的方式样品放置操作步骤如下:
参照图3.1B,参照端面夹持的方式,不同的是,先调节左右电极上的夹紧螺母,使得左右两个活动上电极先向上,使得上下电极反“V”型槽之间有足够空间穿放样品。样品放好,调节垂直锁紧螺母,夹紧样品。如图3.2C。
3.2探头探针压力调整:
 
 
 
将测试台上部操作扳手向前向下,压下探头。如图3.3A,在探头压下的状态下,可根据样品上侧面和探头探针尖的距离,如图3.3B,调节测试台垂直导轨支架中部螺杆上的螺母(先松开锁紧螺帽),如图3.3C,观察探头探针压下程度,调节测试压力!一般以探针被压缩2mm行程为宜。调好后锁紧锁紧螺帽。
3.3 调节修正系数,读取电阻率值:
根据样品截面S和两探针针距L,查说明书附表,得修正系数K,输入到仪器中,直接读取电阻率值,仪器操作参考所配仪器说明书。
3.4 测试样品不同段点的电阻率值:
一个段点测试完毕,抬起探头,水平移动探头单元,在选择的另一段点压下探头即可,直接读取电阻率值。
3.4 付卸样品:
先抬起探头,对于端面夹持的样品,要在手托好样品后,转动手轮松开样品,再移去样品。对于穿芯式侧面夹持的样品,松开两电极上方的锁紧螺母后,从两端抽取出样品。
    
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