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长春博盛量子科技有限公司
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产品型号：ATLEX-500-L品牌名称：德国ATLLasertechnik产品特点：·TMC（全金属陶瓷）管路·电晕预电离·固态开关·延长动态和静态气体寿命（数月）·激光头容积6L·全部风冷·RS-485、RS232、USB及光纤接口·可冲洗光具座·集成4阀系统
产品型号：ATLEX-500-L
品牌名称：德国ATL Lasertechnik
产品特点：
· TMC（全金属陶瓷）管路
· 电晕预电离
· 固态开关
· 延长动态和静态气体寿命（数月）
· 激光头容积6 L
· 全部风冷
· RS-485、RS232、USB及光纤接口
· 可冲洗光具座
· 集成4阀系统，便于气体处理
· 能量稳定模式
· 符合欧洲CE标准，符合RoHS规范
· 模块化设计/服务友好
产品参数：
| ATLEX-500-L产品参数 | |||
| 气体介质 | ArF | KrF | 单位 |
| 波长 | 193 | 248 | nm |
| 高压开关技术 | 固态开关 | | |
| 脉冲能量1 | 10 | 15 | mJ |
| 平均功率 | 4.0 | 6.5 | W |
| 重复频率 | 500 | Hz | |
| 脉冲宽度2 | 5 – 8 | ns | |
| 光束尺寸2(V x H) | 6 x 4 | mm | |
| 光束发散角2(V x H) | 2 x 1 | mrad | |
| 能量稳定性（标准偏差） | < 2 | % | |
| 尺寸（长x宽x高） | 600 x 415 x 567 | mm | |
| 重量 | 70 | kg | |
| 冷却 | Cooling Air / Optional Liquid | | |
| 电力需求 | 230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz | | |
所有规格均为典型数据，如有因产品改进而更改的，恕不另行通知。
1 在重复频率情况下测得： 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。
2 典型值，FWHM
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