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长春博盛量子科技有限公司
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BIO3
| BIO3.100 | BIO3.200 | BIO3.300 |
运动范围XYZ(µm) | 100 | 200 | 300 |
分辨率XYZ(nm) | 0,1 | 0,2 | 0,3 |
典型的噪声基准XYZ(nm) | 0,01 | 0,02 | 0,03 |
的重复性XYZ(nm) | 0,2 | 0,4 | 0,6 |
线性化(典型的) | 0,02% | 0,02% | 0,02% |
谐振频率X / Y / Z(赫兹) | 500/400/400 | 400/350/300 | 300/250/250 |
刚度 X/Y/Z (N/µm) | 0,6/0,5/0,5 | 0,5/0,4/0,4 | 0,4/0,3/0,3 |
负载(kg)-水平使用 | 1 | 1 | 1 |
负载(kg)-垂直使用 | 0,5 | 0,5 | 0,5 |
传感器 | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor |
尺寸W x L x H (mm) | 152,5 x 213 x 20,45 | 152,5 x 213 x 20,45 | 152,5 x 213 x 20,45 |
材料 | Al or Invar | Al | Al |
电缆长度(m) | 2 | 2 | 2 |
推荐控制器 | Standard | Standard | Standard |
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