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长春博盛量子科技有限公司
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HS1
| HS1.30 | HS1.50 | HS1.70 |
运动范围(µm) | 30 | 50 | 70 |
分辨率(纳米) | 0,03 | 0,05 | 0,07 |
典型的噪声基准(nm) | 0,003 | 0,005 | 0,007 |
全范围重复性(纳米) | 0,06 | 0,1 | 0,14 |
线性化(典型的) | 0,02% | 0,02% | 0,02% |
谐振频率(hz) | 4000 | 4000 | 4000 |
刚度 (N/µm) | 3 | 3 | 3 |
负载(公斤)-水平使用 | 1 | 1 | 1 |
负载(公斤)-垂直使用 | 0,5 | 0,5 | 0,5 |
传感器 | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor | Silicon HR sensor |
尺寸:W x L x H (mm) | 62,5 x 69,50 x 12,6 | 62,5 x 89,50 x 12,6 | 62,5 x 111,50 x 12,6 |
材料 | Al | Al | Al |
电缆长度(m) | 2 | 2 | 2 |
推荐控制器 | Standard or High Speed | Standard or High Speed | Standard or High Speed |
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