系列简介

在很多超纯气应用，诸如半导体工业中，气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作至关重要。一直以来，对湿气的持续追踪测量都是个难点，需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。然而密析尔仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案，用来在线测量露点值，下限低至惊人的-120°C (相当于不到 1 ppb_V)。

Pura 变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的专业经验，结合标准工业化的材料和制造流程，打造出的*适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。

亮点

• 测量下限 -120°C 露点 (1 ppb_V)
• 测量稳定，重复性好
• 高度集成的采样装置
• 模拟和数字输出
• 安装简便
• VCR 过程接口
• 设计紧凑小巧
• 显示/报警单元可选

技术指标

传感器

传感器类型

密析尔陶瓷湿度传感器

量程

-120 ~ -40°C 露点 (校验到 -100 ~ -40°C)

精度

±1°C   -40 ~ -60°C;

±2°C   -61 ~ -100°C;

±4°C   -101 ~ -120°C (估算值)

分辨率

0.1°C        -40 ~ -79.9°C;

1°C           -80 ~ -100°C;

1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C

压力

zui低 10-9 torr; zui大 24 MPa

气体流量

1 ~ 5 Nl/min

电气

电源

通常 24 V DC, zui低10 V ~ zui高28 V , zui大电流 25 mA

输出

4-20 mA 输出, 对应范围可由专用软件调整, 调整量程从 1 ~ 80°C (标配提供)

zui大负载 = 100 Ω + 50 Ω x (V 电源 -8)

输出出错状态

标准输出出错信息如下: 23 mA = 传感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限

机械性能

传感器套筒

不锈钢, 0.1-0.2 Ra µm 电镀内抛光

气路连接端口

Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口

Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口

安装配置

Premium 或 OEM 型: 120.00mm 长, 气路端口的端面密封. 无需预留管路空隙

底座上有 2 个 M4 x 0.7, 7mm 深的安装孔, 斜对面横竖间距均为 20 x 20mm

Pura Sensor 型: 适用于用户提供的 ½" VCR 端口中

尺寸

Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm

Pura Sensor 型: 132 x 35mm

重量

Premium 或 OEM 型: 450g

Pura Sensor 型: 180g

包装

Pura: 双层包装, 惰性气体填充密封

Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 单层包装

所有选配件: 独立包装运输

Sensor 型在传感芯片端自带保护套,用以运输及操作