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北京朗润达科贸有限公司
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EFM500由希腊ES SYSTEM公司开发，是一种基于热膜风速计原理的用于质量气体流量测量的MEMS气体流量传感器系列。EFM500气体流量传感器的特征是：可双向检测气体流量，测量范围是±（20-500 ）SLPM，总误差为读数的1%。流线型对称设计，高质量塑料制造，即使在双向流量下也呈现非常低的压降。校准气体为空气，也可根据要求提供其他非腐蚀性气体。工作电压低至3.3V，EFM500气体流......
产品特色
EFM500气体流量传感器的特征是：可双向检测气体流量，测量范围是±（20-500 ）SLPM，总误差为读数的1%。流线型对称设计，高质量塑料制造，即使在双向流量下也呈现非常低的压降。校准气体为空气，也可根据要求提供其他非腐蚀性气体。
校准气体 空气，其它可用气体根据要求
流量范围 ±（ 20-500 ）SLPM，双向或单向
供电电压 3.3V 或 5V
工作压力 1.45BarA
预热时间 35ms
输出信号 I2C，SPI，0-5V，0-3.3V
总 误 差 1%读数
ADC分辨率 16位
输出刷新率 1ms（ 1KHz ）
压 损 <750pa@200 SLPM
操作温度 - 40℃ ~ 85℃
校准温度 0℃ ~ 50℃
湿 度 0% - 95% RH, 无冷凝
尺 寸 44×92.8×35.4mm（W×L×H)
材 质 接液材质：增强玻璃热塑性聚合物、金、硅、氮化硅、硅氧化物、
环氧树脂、硅橡胶、FR4、聚氨酯、316不锈钢
外壳材质：增强玻璃热塑性聚合物
过程接口 22mm ISO 5356
电气接口 2mm 锁定连接器
认 证 RoHS, CE,WEEE
评估套件
气体流量评估套件被设计成一款即插即用型设备，无需定制软件或硬件设计及开发，旨在为用户提供一个紧凑的解决方案来评估EFM500系列双向气体质量流量计。开发了一个用户友好的软件用于记录和监测EFM500系列的流量数据。
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