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南京爱尔传感科技有限公司
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AE-F*薄膜压力传感器芯体。采用离子束溅射技术
直接淀积在17-4PH弹性元件上(SiO2保护层、NiCr合金电阻
层、Au焊盘,总厚度小于4um),刻蚀形成金属应变电阻,彻
底实现敏感元件无机的一体化,克服了有机胶带来的蠕变、滞后
和老化现象,大大提高了产品的精度和*稳定性,可* 在-40~150℃工作温度下稳定工作。。
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