一.概述
TXY970质量流量控制器 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。TXY970采用热式测量原理,直接用两支快速反应的铠装传感器测量气体流量。由于没有层流元件,并采用哈氏合金传感器,用于易结晶和腐蚀性的气体测量。对低压管道或者压力损失小的应用,TXY970也同样适用。
二.质量流量控制器使用范围
它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。
其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
三. 产品特点
●直接热式原理,无层流元件
●无压损,抗结晶,抗腐蚀
●适用于各种低压和高压管道
●精确测量和控制气体的质量流量
●预热时间短,零漂小,可靠性高
●多种气体可选,也可自行输入
四.技术参数
1 | 量程范围 | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM(ml/min) (0~1,2,3,5,10) SLM(L/min) |
2 | 准确度 | +1.5%F.S |
3 | 线性 | +0.5~1.5%F.S |
4 | 重复精度 | +0.2%F.S |
5 | 响应时间 | 电特性:10sec 气特性:(1~4)sec |
6 | 工作压差 | (0.1~0.5)MPa |
7 | 耐压 | 3MPa |
8 | 工作环境温度 | 0~70℃ |
9 | 数字量 | RS485 MODBUS协议 |
10 | 模拟量 | DC 0~5V ,4~20mA 可选 |
11 | 供电 | DC +15V/24V 可选,流量计<50mA,控制器<200mA |
12 | 电气连接 | DB15 |
13 | 漏率 | 1×10-8SCCSHe |
14 | 底座材质 | 316L不锈钢 |
15 | 密封材质 | 氟橡胶,丁晴橡胶,氯丁橡胶 |
16 | 气路街头 | Φ3,Φ6,Φ10,1/8〞,1/4〞,3/8〞 |
注意:
质量流量计和出厂通常用氮气(N?)标定.
质量流量的单位规定为:SCCM (标准毫升/分); SLM (标准升/分)
标准状态规定为: 温度-----273.15K (0℃);
气压-----101325 Pa (760mm Hg)
F.S (Full Scale); 满量程值
五、产品选型
TXY970 | 质量流量计 | ||||||||
| 代码 |
| |||||||
M1 | 现场液晶显示 | ||||||||
M2 | 不带显示 | ||||||||
| 代码 | 测量范围 | |||||||
A | 5SCCM | ||||||||
B | 10SCCM | ||||||||
C | 客户 | ||||||||
| 代码 | 耐压范围 | |||||||
M | 3MPA | ||||||||
Z | 10MPA | ||||||||
| 代码 | 密封材质 | |||||||
A | 氟橡胶 | ||||||||
B | 聚四氟乙烯 | ||||||||
C | 氯丁橡胶 | ||||||||
| 代码 | 流量介质 | |||||||
L | 液体 | ||||||||
G | 气体 | ||||||||
| 代码 | 输出信号 | |||||||
A1 | 4-20MA | ||||||||
A2 | 0-5V | ||||||||
A3 | 1-5V | ||||||||
| 代码 | 供电电压 | |||||||
15 | 15V | ||||||||
24 | 24V | ||||||||
| 代码 | 通讯方式 | |||||||
1 | RS485 | ||||||||
2 | RS232 | ||||||||
TXY970 | M1 | A | M | A | G | A | 24 | 1 | 选型举例 |