测量中心距离为20 ～ 1,500 mm的各种型号。
大分辨率达0.25 μm。
大响应速度达110 μs。
支持并行输出。
超高性能传感器支持大范围超精确测量的核心质量
超稳定性
尺寸/稳定性
传感器尺寸
重视性能的传感器头尺寸和3点式固定构造确保出众的传感稳定性。（参见注释）
注：ZS-HLDS2T 不可用。
的移动分辨率
分辨率提升
通过提高受光透镜的灵敏度和分辨率，使光学系统化，从而大幅度降低移动分辨率误差（因工件表面位置引起的误差）。
材质间误差降低
2维CMOS
CCD在受光量过多时电荷会溢出至相邻的像素。CMOS避免了这种现象，不会受不同材质或受光过多导致的光量变动影响。
降低决定测量精度的不同物体之间的差异。
因此，可以更方便地应用于检测对象物。
行业的1,500mm长距离检测，可以测量以往无法测量的点。
注：此功能可能在明亮环境中无效。
可稳定测量倾斜工件和移动工件。
专门为ZS-HLDS2VT开发的非球面透镜，采用的光学结构设计于正反射工件。显著扩大了允许倾斜的角度，并提高了测量透明工件和正反射工件的稳定性。
在半导体晶圆片、玻璃等要求精度高的测量上具有压倒性的优势。
请点击此处，查看大图。
令人难以置信的测量精度0.25μm，同级产品的水平。
密封调和器的高度控制
HDD用电机旋转座的光盘播放检查
应用案例
准确检测不同高度及种类的食品托盘
通过物体检测用区域传感器对不同高度及种类的食品托盘进行准确检测。
・使用物体检测用区域传感器，能准确检测区域内任意形状及高度的托盘。
实现低运行成本的高精度摄像头粘接
通过使用长寿命的LED式UV照射器，实现低运行成本的高精度摄像头粘接。
・使用长寿命LED式UV照射器，与灯泡式相比， 无需担心灯泡耗尽，能实现低成本运行。
总装工艺-紧固螺栓检测系统
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