1、电击穿：固体介质的电击穿理论是在气体放电的碰撞电离理论基础上建立的。固体物理学基础上用量子力学为工具，逐步发展建立了固体介质电击穿的碰撞电离理论，其主要内容为：在强电场下固体导带中可能因冷发射或热发射而存在一些电子，这些电子一面在外电场作用下被加速获得动能，一面与晶格振动相互作用而加剧晶格振动，把电场的能量传递给晶格，当这两方面在一定温度和场强下平衡时，固体介质有稳定的电导，但当电子从电场中得到的能量大于损失给晶格振动的能量时，电子的动能就越来越大，直至电子与晶格的相互作用增强到能电离产生新电子，自由电子数讯速增加，导致电击穿开始发生。
2、热击穿:绝缘材料在电场下工作时由于各种形式的损耗，部分电能转变成热能，使介质被加热。若外加电压足够高 ，将出现器件内部产生的热量大于器件散发出去的热量的不平衡状态，热量就在器件内部积聚，事器件温度升高升温的结果又进一步增大损耗，使发热量进一步增多。这样恶性循环的结果使器件温度不断上升，当温度超过一定限度时介质会出现烧裂、熔融等现象而*丧失绝缘能力，这就是介质的热击穿。
3、化学击穿：长期运行在高温、潮湿、高电压或腐蚀性气体环境下的绝缘材料往往会发生化学击穿。化学击穿和材料内部的电解、腐蚀、氧化、还原、气孔中气体电离等一系列不可逆变化有很大的关系，并且需要相当长时间，材料被”老化”逐渐丧失绝缘性能，最后导致被击穿而破坏。
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