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双光束激光干涉仪用于压电薄膜的蝴蝶曲线和纵向压电系数d33的测试。
半自动的系统用于8"晶圆上的MEMS器件的压电性和电性相关性能的测试。
大量样品测试的重复精度可达2%以上。

测试功能：
机电大信号应变、极化、压电系数、小信号介电常数。
疲劳和电性及机械性能可靠性。

样品测试：
极化曲线和位移曲线。
小信号电容及压电系数。

技术参数：
分辨率： ≤1 pm（X晶向的石英）
测量范围：5pm- +/- 25nm
波长：632.8nm
位移/应力测试：>50Hz，小1Hz分辨率，100mV到10V（可选到200V）
压电d33系数：
 基电压100mV到10V（1mHz到1Hz），可选到200V
 小信号100mV到10V（1kHz到5kHz）
C-V测试：
 基电压100mV到10V（1mHz到1Hz），可选到200V
小信号100mV到10V（1kHz到5kHz）

公司主营产品：
几大系列：先进功能材料电学综合测试系统、绝缘诊断测试系统、高低温介电温谱测试仪、极化装置与电源、高压放大器、PVDV薄膜极化、高低温冷热台、铁电压电热释电测试仪、绝缘材料电学性能综合测试平台、电击穿强度试验仪、耐电弧试验仪、高压漏电起痕测试仪、冲击电压试验仪、储能材料电学测控系统、压电传感器测控系统。

双光束激光干涉仪/其他

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