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LMSU5 系列三维直线电机平台

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更新时间：2022-01-12 10:07:13浏览次数：165次

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产品简介
1、底座基材为大理石，模块化设计；2、采用U型电机；3、刚性好，精度高；4、可用于晶圆切割等激光精加工领域

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1、底座基材为大理石，模块化设计；
2、采用U型电机；
3、刚性好，精度高；
4、可用于晶圆切割等激光精加工领域。










 

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