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日本okamoto冈本半自动CMP化学机械抛光机spp600s

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产品型号spp600s

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更新时间：2017-08-16 16:12:53浏览次数：1013次

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上海瞻驰光电科技有限公司

经营模式：代理商

商铺产品：3条

所在地区：上海上海市

联系人：王晓玉（销售助理）

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产品简介

设备指标： 1. 适用晶圆尺寸厚度晶圆尺寸： 3 - 8 英寸 2. 设备尺寸及重量尺寸： 1380 （W） x 1210 （D）* x 1873 （H） 3. 厂务条件电力要求： 10KVA, 200V, 3 Phase, 50/60 Hz 压缩空气压力： ≧5.0 Kg/cm2 去离子水压力： 1.0-1.5Kg/cm2 去离子水流量： 5 升/分钟排气量： 3m3/分钟冷却水（真空泵

详细介绍

一、设备概要： 1. SPP-600S 是半自动通用抛光型设备，不仅可以处理氧化层和金属膜，而且可以去除晶圆表面损伤层。该机型装备有两个抛光头和一个定盘修正头，可实现高的吞吐量。它具有*的软件和触摸屏，使用操作方便。二、设备构成： 1. 抛光头：一个定盘，两个抛光头同时工作，可实现高的吞吐量；可独立编程（包括转速）并单独控制每个抛光头；夹紧机构为真空吸附固定或利用晶圆表面张力进行固定；装备有保护圈以保证均匀性和边缘轮廓；抛光压力基于实时监控；具有摆动功能； 2. 定盘：水冷系统可保证稳定运行 3. 修整主轴：装有修整头；修整压力靠头的自重； 4. 外壳：全密封；安全互锁门； 5. 触摸屏： 9.5 寸全彩屏； GUI 操作面板； 4 级程序控制； 6. 供液单元：使用罗拉泵可实现稳定供液。

关键词：触摸屏