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仪器型号 | GT-CNC-3020H | GT-CNC-4030H | GT-CNC-5040H | ||
工作台 | XY轴行程 | 300/200 | 400/300 | 500/400 | |
Z轴行程 | 有效空间245mm,调焦行程200mm,工作距离95mm | ||||
金属台面尺寸 | 450/350 | 550/450 | 700/600 | ||
玻璃台面尺寸 | 330*230 | 430*330 | 530*430 | ||
传动型式 | X/Y/Z轴精密线性导轨/研磨级滚珠螺杆 | ||||
测量伺服驱动 系统 | 光学尺分辨率:X/Y/Z轴0.0005MM(0.5UM) | ||||
测量精度:≤2.5UM+L/200 重复精度:≤2.5UM+L/200 | |||||
X/Y/Z三轴中国台湾高性能伺服电机,双重闭环控制系统 | |||||
影像系统 | 摄像机:日本SONY 1/3″CCD 摄像机放大倍率30-230X | ||||
自动变倍镜头:NAV高清变倍镜头//连续放大倍率0.7-4.5X 可选配0.5X物镜时,总放大倍率15-115X 可选配2X物镜时,总放大倍率60-460X | |||||
光源系统 | 表面光源与透射光源LED冷光源、寿命长、亮度可调 | ||||
仪器外形尺寸(L*W*H) | 700MM*850MM*1650MM | 800MM*900MM*1650MM | 900MM*1050MM*1650MM | ||
仪器重量(KG) | 330 | 400 | 550 |
电源:220V+10% ,50HZ-60HZ
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