HORIBA S49 31/MT气体质量流量控制器/流量计

S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量计技术指标

编号	项目	S49 31/MT	S49 31A/MT
1	流量规格	(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (0～1,2,3,5)L/min
2	调节阀类型	电磁调节阀
3	调节阀静止状态	常闭
4	准确度	±1%F.S(10mL/min～5L/min规格，其余规格≤±2% F.S)
5	线性	±1.0%F.S，±1.5%F.S
6	重复精度	±0.2%F.S
7	响应时间	(3～4)s
8	工作压差范围	(0.05～0.3)MPa;           (0.1～0.3)MPa(10～30)L/min
9	耐压	3MPa;           10MPa
10	工作环境温度	5℃～45℃
11	材料	不锈钢316L
12	标准密封材料	Viton®，    EPDM，  或其他由用户
13	漏率	1×10-9atm.mL/s (He)
14	接头	Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 软管接头Ф4mm～Ф10mm  或其他
15	输入输出信号	0V～＋5.00V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA)
16	供电电源	±15V（±2%）（＋15V  50mA,  －15V  200mA）
17	外形尺寸mm	134×134×38
18	重量kg	1.0

 

S49 31/MT 系列质量流量控制器外形及安装尺寸