日本HORIBA S48-32HMT(≤50SLM)气体质量流量控制器 返回列表页

概要；

• 可以任意角度安装
• 良好的线性——多段线性补偿
• 快速的响应
• 电磁阀使用寿命≥100万次
• 对零点漂移有效的控制
• 良好的选择性
• 零配件供应——传感器、分流器、精密元器件日本进口

  编号	项目	S48 32/HMT
  1	流量规格	(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
  2	调节阀类型	电磁调节阀
  3	调节阀静止状态	常闭
  4	安装角度	任意
  5	流量控制范围	2%～99%
  6	流量测量范围	0～99%
  7	响应时间	2s（T98，设定值的±2% F.S.）
  8	工作环境温度	5℃～50℃
  9	精度保证温度	15℃～35℃
  10	精度	±1.0%F.S.
  11	线性精度	±0.5%F.S.
  12	重复性	±0.2%F.S.
  13	工作压差	～5L/min (50～300)kPa(D) 5L/min～10L/min (100～300)kPa(D)  30L/min～50L/min (150～300)kPa(D)
  14	耐压	3MPa
  15	泄漏率	1×10-8 Pa•m3/s （He）
  16	接触气体材料	316L,PTFE,Viton氟橡胶
  17	管路接头	Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″
  18	供电电源	±15VDC(±5%)  +15V＜100mA,-15V＜150mA	+24VDC(宽电压+11～+25V), ＜250mA(+24Vdc供电时)
  19	设定信号	(0～5)VDC 输入阻抗＞1MΩ	4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V）
  20	流量输出信号	(0～5)VDC 负载能力≤3mA
  21	电气接头	D-SUB15,D-SUB9
  22	重量(kg)	0.9

  
  
  

  S48 32/HMT 安装尺寸图：