德国HLPlanar公司TCS208F型气体热导传感器,采用*的MEMS加工技术,利用被测组分和参考气体的热导系数不同而响应的浓度型传感器。产品具有检测范围大、可靠性高、使用安装方便、维护简单等众多优点。
可广泛应用于CH4、H2、CO2、CO、SF6、Xe、He、NH3等气体成份检测,也可用于测量非常小的气体容积变化。
针对传统的气体热导检测器在气体检测应用中存在检测精度差、灵敏度低、温度漂移大的缺点,本设计采用新型的MEMS气体热导传感器,设计了一种高性能的气体浓度检测系统。设计了一种高精度的双恒流源电路对电桥供电,运用微信号检测技术和温度补偿手段,采取模拟滤波和数字滤波相结合的方法,有效的抑制了各种类型的噪声干扰,提高了系统测量的精度与灵敏度,实现了微量气体浓度的准确测量,克服了传统气体热导检测的缺点。
TCS208F热导传感器具有检测范围大、可靠性高、装置简单、价格便宜、维护方便等许多气体传感器所不具
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