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详细介绍
JEL在日本国内生产的大气洁净机械手臂具有非常好的性价比优势，而且做工精良，性能稳定可靠，被广泛应用于半导体生产设备，LED生产设备以及液晶生产设备等。客户主要分布在日本，韩国以及中国台湾等地区。2013年JEL产品开始正式进入中国市场，并成功应用于中国半导体设备厂商所独立设计，生产的中国国产设备，并获得了中国客户的*认可。
大气洁净机械手臂通过和Aligner配合可以完成从片盒传片到Loadlock腔室，或者从Loadlock腔室回收完成工艺流程的成品晶圆。JEL公司可以根据客户需求定制满足客户要求的各种特殊机械手臂产品，比如可搬运重量较重的托盘的大气机械手臂，以及可用于清洗机设备的防水产品等等。
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