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详细介绍
SAL3481晶圆对应光学式校准器适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆位置的校准。可用于4～8寸晶圆的搬运，体积小，性价比高。
- 高速，高精度地定位半导体硅片的中心以及缺边，缺口
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 相对旧型号SAL46C6，SAL4484缩减了大约50%的空间尺寸
SAL3481晶圆对应光学式校准器
应用设备实例
PE-CVD设备；AOI设备
规格
| 被搬运物 | SEMI规格 100～200 mm硅片 | ||
|---|---|---|---|
| 位置确定所需时间 | 定位晶圆中心：3 sec | ||
| 位置精度 | 晶圆中心：±0.1 mm以内 晶圆缺边（缺口）：±0.1度以内 | ||
| 传感器 | 可视光半导体激光传感器 | ||
| 洁净度 | ISO标准 Class 2（驱动结构内部独立排气条件下） | ||
| 动力 | 3轴使用2相步进电机，电机控制器和脉冲发生器安装在本体内部 | ||
| 厂务 | 电源：DC24V±10% 3A 正压：60 SLM, 0.01-0.3 MPa | ||
- 高速，高精度地定位半导体硅片的中心以及缺边，缺口
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 相对旧型号SAL46C6，SAL4484缩减了大约50%的空间尺寸
- 高速，高精度地定位半导体硅片的中心以及缺边，缺口
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 相对旧型号SAL46C6，SAL4484缩减了大约50%的空间尺寸
- 高速，高精度地定位半导体硅片的中心以及缺边，缺口
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 相对旧型号SAL46C6，SAL4484缩减了大约50%的空间尺寸
- 高速，高精度地定位半导体硅片的中心以及缺边，缺口
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 相对旧型号SAL46C6，SAL4484缩减了大约50%的空间尺寸
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