SORTER SYSTEM传输平台系统

SORTER SYSTEM传输平台系统可实现300片/小时产率的高性能晶圆搬运系统，系统内部使用了本公司设计生产的高性能大气机械手臂和校准器

SORTER SYSTEM传输平台系统

• 符合SEMI标准（E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600）
• Aligner具有Buffer功能，能够实现晶圆的更换动作，提高了设备的Throughput
• 配备ID Reader，能够读取晶圆的ID信息（晶圆正反面对应为选配）
• 上述标准规格之外，以下规格的产品也可以定制
      1. 4 FOUP对向摆放（Throughput为400片/h）
      2. 4 FOUP的inline类型（Throughput为600片/h）

  应用设备实例

  半导体生产线

  规格

  对应片盒	300 mm FOUP（25片）
  	SEMI E47.1，E62标准品
  对应晶圆	300 mm 硅片（厚度775 µm）
  Throughput*	300片/h
  洁净度	ISO标准 Class 2（FFU使用）
  外形尺寸*	W1250xD2500xH1900
  重量*	大约 800 kg
  厂务	电源：AC200V±10% 2kVA
  	干燥空气：0.5MPa±10%
  	真空：优于-53 kPa