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详细介绍
2轴圆柱坐标型洁净机械手臂适用于半导体生产设备内部，检测设备等小尺寸晶圆的搬运，通过优化机械手臂的空间尺寸，有利于实现设备的小型化。可在工作台上使用的小型机械手臂。
2轴圆柱坐标型洁净机械手臂
- 同SSCR3115N-150-PM兼容，连杆式手臂，可以增加Z轴模块
- 可搬运重量：手臂第3关节处基准0.1kgf以下（只包含被搬运物）
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴使用2相步进电机
- S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
- 晶圆固定方式：真空吸附式，下托式
- 手指材质：CFRP（碳纤维），铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
- 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供优的手指
应用设备实例
检测设备
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